潔凈無塵車間室內空氣參數要求

(1)無塵車間室內溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5%。
(2)無塵車間室內新風量大。由于這類車間內，人員比較多，可以根據以下數值應取下列的最大值：非單向流潔凈室總送風量的10-30%;補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內每人每小時的新鮮 空氣量≥40m3/h。
(3)無塵車間室內送風量大。為了滿足潔凈室內的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級，送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數，是≥25次/h);如果是十萬級，送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數，是≥15次/h)。

生物凈化間級別：
1、100級、10000級、100000級；粒子生物粒子：室內壓力Pa，mmH2O，溫度℃，濕度%氣流換氣次數，照度Lx，粒徑um。

潔凈無塵車間潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。
2、光學微電子行業凈化工程設計方案分析之水冷柜機+FFU+增壓新風柜+高效送風口與前種方案比較，這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積，水冷柜機可以根據具體的情況布置于較小機房內或凈化車間內，增壓風柜也可以布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。